二氧化碳發泡機

二氧化碳發泡機又稱超純水抗靜電裝置、超純水電阻率調節裝置，是半導體切割工序的必備設備；在半導體行業生產中，使用超純水有助于提高產品良品率，但是超純水具有很高的電阻率，因此也容易在產品表面產生靜電，對產品造成傷害。二氧化碳發泡機就是為了解決這一問題而研制，向高電阻率的超純水中添加二氧化碳來降低超純水的電阻率，防止在劃片/清洗制程中產生靜電而損傷產品。

特點：
機器結構緊湊、占地面積??；
安裝方便、操作簡單、性能穩定、故障率低；
有效防止靜電破壞產品，提高良品率，降低企業生產成本
超純水電阻率可方便精準地設定在0.2-2MΩ?CM范圍內
電阻率超出設定范圍時，報警燈和蜂鳴器提示

規格參數：

型號參數	COII-2000L/H		COII-3500L/H
純水壓力	0.3-0.5Mpa		0.3-0.5Mpa
純水溫度	5~35oC		5~35oC
阻抗設定范圍	0.2~2MΩ·CM		0.2~2MΩ·CM
供水能力	300~2000L/H		300~3500L/H
供電電源	單相AC220V±10%		單相AC220V±10%
耗電功率	≤80W		≤90W
外形尺寸 (WDH)	5264101156 mm		5264101156 mm
重量		≤45Kg	≤50Kg